진동 평가 기준 ISO Vibration Criteria

진동을 평가하는 기준인 Vibration Criteria는 1980년대에 에릭 웅가와 콜린 고든이 진동에 민감한 제조 시설 및 장비 설계자를 위한 가이드를 제공하는 일련의 '일반' 진동 기준으로 만든 것입니다.

진동 기준(VC)은 종종 1/3 옥타브 대역의 속도 스펙트럼으로 표시됩니다.

원래 기준에는 VC-A부터 VC-D까지 네 가지 레벨이 있었습니다.

1994년에 다섯 번째 레벨(VC-E)이 개발되었고,

IEST(환경과학 기술 연구소)에서 진동 기준을 표준화했습니다.

추가 테스트와 분석을 통해 기준은 현재 VC-A부터 VC-M까지로 확장되었습니다.

진동 기준(VC) 곡선을 개발하기 위해 수직 방향과 두 개의 수평 방향에서 진동을 측정합니다.

진동은 변위, 속도 또는 가속도로 표현할 수 있지만, VC 곡선의 경우 원래 개발자들은 진동을 평균제곱근(RMS) 속도로 표현하기로 결정했습니다.

이는 여러 연구에 따르면 장비 유형에 따라 진동에 대한 최대 민감도가 다른 주파수에서 나타나지만, 이러한 지점은 일정한 속도의 곡선 위에 놓이는 경우가 많기 때문입니다.

또한 진동 기준(VC) 곡선은 고정 대역폭이 아닌 비례 대역폭, 즉 대역폭이 주파수에 비례하는 방식을 사용합니다.

비례 대역폭을 선택한 이유는 대부분의 환경에서 진동이 음조 또는 주기적 에너지보다는 광대역 또는 무작위 에너지에 의해 지배된다는 것을 경험적으로 입증했기 때문입니다.

비례 대역폭을 사용하면 개별 대역의 중심 주파수가 표준화되고 각 대역의 대역폭은 중심 주파수의 23퍼센트가 됩니다.

진동 기준(VC) 곡선은 종종 다양한 유형의 건물이나 환경에서 진동이 사람에게 미치는 영향과 관련된 네 가지 ISO 지침과 함께 표시됩니다. 또한 일부 진동 차트에는 원래 계측 애플리케이션을 위해 개발된 NIST-A 기준이 VC 곡선과 함께 표시됩니다.

1/3 옥타브 대역은 전체 옥타브를 커버하는 것이 아니라 하위 대역 주파수(f1)에 2의 제곱근을 곱한 값(f2 = f1*∛2)과 같은 상위 대역 주파수(f2)로 정의되는 폭을 갖는 주파수 대역입니다.

GENERAL VIBRATION CRITERIA
DESCRIP.	FACILITY EQUIPMENT OR USE	VIBRATION CRITERIA
CLASS		4~8 Hz RMS		8~80Hz RMS
CLASS		가속도(gal)	변위(um)	속도(um/s)
일반적인 진동환경	일반작업장	4	16	800 um/s
	사무실	2	8	400 um/s
	거주지 및 COMPUTER SYSTEM	1	4	200 um/s
	100배 정도 현미경, 로보트,수술실, OPERATERS ROOM,일반연구실,기타	0.5	2	100 um/s
ISO VC-A CLASS	400배 정도 현미경, 측정실, OPTICAL OR OTHER BALANCE, OPTICAL COMPARATORS.전자장비 생산설비 등 * 검사, PROBE TEST, 생산지원 설비 및 장치	0.25	1	50 um/s
ISO VC-B CLASS	400배 이상 현미경,정밀안과, 신경계 수술실, 설비를 갖춘 장비 광학, 반도체 생산설비 등 *ALIGENR. STEPPERS 등 3um이상 선폭을 노광장치	0.13	0.5	25 um/s
ISO VC-C CLASS	30000배 까지 전자현미경 MAGNETIC RESOMANCEIMAGERS,반도체 생산설비 * ALIGNER,STEPPERS 등 1um선폭 노광장치:1M DRAM 정도	0.06	0.25	12 um/s
ISO VC-D CLASS	30000배 이상 전자현미경,MASS SPECTROMETER 세포이식 장치, 반도체 생산설비 * ALIGNER,STEPPER 등 1/2nm 선폭 노광장치:4M DRAM 정도	0.03	0.12	6 um/s
ISO VC-E CLASS	UNISOLATED LASER AND OPTICALRESEARCH SYSTEM. 반도체 생산설비 * ALIGNER, STEPPER 등 1/4u 선폭 노광장치:64M DRAM 정도	0.015	0.06	3 um/s

표에는 종종 “세부 크기”라고 표시된 사양이 포함되어 있습니다.

원래 개발자에 따르면 이는 “마이크로전자공학 제조의 경우 선폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등”을 의미하며 VC 곡선이 원래 마이크로 일렉트로닉스, 의료 및 바이오 제약 산업에 초점을 맞춘 기준입니다.

이 세 가지 산업의 요구를 염두에 두고 개발된 진동 기준은 현재 진동에 민감한 장비를 사용하는 많은 산업에서 필요한 진동 수준을 충족하기 위한 시설, 마운트 및 진동 감쇠 시스템 설계의 기초로 받아들여지고 채택되고 있습니다.

이상 포스팅해 드리는 진동 평가 기준에 대해 궁금하신 사항 있으시면 언제든지 연락 부탁 드립니다.

감사합니다.

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